超高壓汞燈的光亮度較大作為點(diǎn)光源使用，原燈管通過電壓后，極間距間產(chǎn)生高電位差的同時(shí)產(chǎn)生高熱，將汞汽化，汞蒸氣在高電位差下，受激發(fā)而發(fā)光。

       因?yàn)橐话愕某邏汗療羰请姌O穩(wěn)定型電弧，電弧附著在電極尖端而穩(wěn)定。但因UHP型超高壓汞燈氣壓太高，電弧在電極上強(qiáng)烈收縮，形成的附著點(diǎn)很小，使電極尖局部變形。

       另外，UHP光源的體積很小使自然剩余電離獲得初始電子的數(shù)量極其有限，故燈的擊穿電壓很高（20kV）。為降低啟動(dòng)電壓，在燈的外觸發(fā)電極與輔助放電腔中的電極引線間形成放電，產(chǎn)生波長短于270nm的紫外線，從而在主放電腔中產(chǎn)生光電離，這個(gè)裝置也常被稱為UV增強(qiáng)器，它能使燈的擊穿電壓降低。再則，還常在UHP型燈外繞制一金屬細(xì)絲作為天線，形成一個(gè)附加電場，通過這兩個(gè)措施，即使UHP光源被完全關(guān)閉和長久擱置以后，燈觸發(fā)的電壓也明顯低于5kV。

       主要發(fā)出 325mm-450mm 的紫外輻射，是在高壓汞蒸汽中產(chǎn)生電弧發(fā)光的短弧燈，具有高輻射，多線 光譜，在紫外線光區(qū)有較高的輻射能量，壽命長，高光學(xué)質(zhì)量等優(yōu)點(diǎn)。所使用的汞氙短弧燈，其平行半角(CHA): 1.5℃，斜射角(DA) < 1℃，因解析度高、能量穩(wěn)定，冷 光源對(duì)菲林漲縮影響極小，廣泛應(yīng)用于高精密線路的制作曝光。